Aug 11,2026
什么是探针卡（ProbeCard），探针卡介绍
一、什么是探针卡
探针卡是晶圆CP测试（ChipProbing）的核心接口硬件，放置在探针台上，作为ATE测试机和未切割晶圆之间的桥梁。
晶圆还没有切割、没有封装，芯片焊盘（Pad）只有几十微米，测试机无法直接接触；探针卡上面密布成千上万根微米级细探针，下压接触晶圆芯片焊盘，建立临时电气连接，完成芯片电学性能测试。
通俗理解：探针卡就是一把高精度“针床”，在封装前把坏芯片筛掉，避免给坏芯片做封装，节约成本。
二、基本结构
PCB基板：对接测试机，传输信号、电源
探针阵列：钨、铍铜等合金制成的微型探针，直接扎芯片焊盘，实现电气导通
陶瓷/支撑基座：固定探针，电气隔离，保障信号完整性
三、工作流程
晶圆真空固定在探针台卡盘（Chuck）；
探针卡安装在探针台测试头，光学对准，针尖对准晶圆上芯片焊盘；
卡盘向上抬升，产生过驱动（Overdrive），探针弹性形变，获得稳定接触压力；
| 类型 | 核心特点 | 适用场景 |
|---|---|---|
| 悬臂式探针卡 | 成本低，工艺老；探针向外悬臂伸出；间距不能做很小，高频性能差 | 模拟芯片、电源芯片、低压低速芯片 |
| 垂直探针卡 | 探针垂直向下，带弹簧缓冲；寿命长，抗高低差；综合性能均衡 | 消费逻辑芯片、功率器件，量产最常用 |
| MEMS 探针卡 | 微光刻工艺批量制作探针，针极细、密度极高、一致性好，高频性能优秀 | 先进制程、HBM 存储、GPU、高密度凸点芯片，高端芯片测试 |
| 膜式探针卡 | 柔性薄膜基底，适合超大引脚、存储器并行测试 | DRAM/NAND 存储芯片大规模并行测试 |
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