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May 20,2026

高低温探针台厂家


作为国家高新技术企业、专精特新企业,深圳森东宝深耕半导体测试设备领域12年,聚焦探针台研发、生产与服务一体化布局,全系列产品实现核心部件100%自主设计制造,在高低温真空探针台领域构建起差异化技术优势。其中,CGO-4-N高低温真空探针台作为国内标杆产品,精准直击行业核心痛点,核心技术参数与性能表现全面对标国际一线品牌,部分关键指标实现突破性超越,为国内半导体测试领域提供高性价比、高可靠性的本土解决方案。

 

1. 超宽温域覆盖,精准控温兼顾性能与经济性

设备采用液氮/液氦制冷与电极加热复合控温技术,可实现77K(-196℃)至473K(200℃)的超宽温域覆盖,无缝适配超低温超导测试、高温功率器件验证等全场景测试需求,无需更换设备即可完成多温域性能表征。腔体特意配备防辐射屏与优化保温结构,将样品温度均匀性严格控制在±0.5K以内,最大限度降低温度梯度带来的测试数据失真问题,保障测试结果的准确性与重复性。同时,通过优化液氮消耗结构设计,相比同类设备可降低30%以上的冷源损耗,在提升性能的同时,有效控制使用成本,实现性能与经济性的双向平衡。

2. 高真空防护+射频屏蔽,适配多场景敏感测试

真空腔体采用高刚性密封结构,极限真空度可达10⁻⁷Pa,能够有效隔绝空气分子干扰,彻底避免低温结霜、高温氧化等问题,完美适配敏感材料与精密器件的测试需求。针对高频测试场景,腔体内置专业射频屏蔽层,搭配低损耗传输组件,可支持DC-67GHz射频测试,能够精准完成高频器件S参数、插入损耗等关键参数的测量,充分满足5G/6G射频前端、毫米波雷达等新型器件的测试诉求,拓宽设备应用边界。

3. 高精度运动控制,模块化适配全流程需求

设备搭载森东宝自主研发的超高精度运动控制系统,X-Y轴移动精度可达1μm,重复定位精度控制在±0.1μm,能够精准对接微米级电极,轻松适配5nm及以下先进制程芯片的测试需求。样品台支持2-6英寸晶圆兼容,配备360°旋转微调功能(精度0.1°)及角度锁死装置,可灵活满足不同尺寸、不同角度的测试场景,提升操作便捷性。

在结构设计上,设备采用模块化架构,可无缝升级探针卡接口、光学观测系统、多探针臂等组件,支持IV/CV、Hall、光电、高压等多类型测试功能扩展;同时兼容手套箱、制冷机、分子泵组等外围设备,实现从实验室研发到小批量量产的全流程适配,大幅提升设备利用率与场景适配性。

4. 本地化服务加持,高性价比凸显本土优势

相较于海外品牌高昂的设备定价与滞后的售后响应,森东宝依托本土企业地域优势,构建了24小时快速技术响应、一年免费上门维保的完善服务体系,大幅缩短售后响应周期,降低客户后期运维成本。在产品定价上,森东宝高低温真空探针台核心性能与国际品牌持平,但价格仅为进口设备的60%-70%,显著降低国内企业与科研机构的采购门槛。同时,可根据客户特殊温域、真空度、测试接口等需求,提供定制化解决方案,精准匹配高校科研院所、半导体企业、材料实验室等不同主体的差异化测试需求。


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