Sep 07,2026
深圳全自动晶圆探针台厂家
森东宝全自动晶圆探针台，面向4‑12英寸晶圆，实现自动上下料、视觉自动对准、批量晶圆MAP扫描测试，适配研发中试、小批量CP量产测试，可兼容高低温、射频、低漏电等多种测试工况，实现国产探针台进口替代。
一、全自动探针台产品核心优势
1.全流程自动化作业：机械臂自动上下料、晶圆预对准、视觉自动找靶、自动扎针、晶圆Map良率图输出，减少人工介入，支持长时间无人值守连续测试中国科学院...。
2.高稳定量产级精度：全闭环运动控制系统，微米级重复定位，适配存储芯片、射频芯片微小焊盘，降低虚接触，保障批量测试一致性。
3.模块化可拓展配置：可升级高低温卡盘、电磁屏蔽腔体、射频探针卡接口，兼容GGB射频探针、半导体参数分析仪、矢量网络分析仪，一站式搭建完整测试系统。
4.国产自研，交付与服务可控：整机核心部件自研，非标定制能力强；深圳本地团队上门装机调试、操作培训，售后响应快，综合成本优于进口设备。
二、全自动探针台典型应用场景
存储芯片：NAND、DDR、MRAM晶圆可靠性、失效分析、CP测试
射频/毫米波芯片、硅光、800G光电器件晶圆级在片测试
功率半导体SiC/GaN器件、MEMS传感器、集成电路晶圆电性检测
企业中试产线、科研平台自动化批量表征实验
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