May 15,2026
什么是探针台测试？探针台测试的应用场景
探针台测试，核心是用精密探针台+半导体参数仪，在微米/纳米级精度下，对晶圆/裸芯片做电学、光电、射频等无损测试，是半导体研发与量产的关键环节。
一、探针台测试核心原理
探针台是微观-宏观信号桥梁：将微米级芯片电极（Pad）通过极细探针（钨针/铍铜）精准引出，连接至半导体参数分析仪、示波器、频谱仪等，实现原位、无损、可重复测试。
定位精度：±0.1μm（纳米级）
温控范围：-196℃（液氮）~+300℃
真空环境：10⁻⁷Torr，适配特殊材料/器件
二、探针台测试主流分类（按应用）
晶圆测试探针台（CP）：4–12寸晶圆量产前缺陷筛选，测试I-V/C-V、阈值电压、漏电流等，避免封装浪费。
光电测试探针台：集成光学模块，测LED/LD/PD光强、波长、光电转换效率。
功率器件探针台：支持高压>1000V、大电流>100A，适配IGBT、SiCMOSFET。
RF/微波探针台：低损耗、共面接触，测S参数、负载牵引，用于5G/6G芯片。
低温/真空探针台：适配超导、二维材料、量子器件，测低温电学特性。
三、探针台测试关键应用场景
研发阶段：器件原型验证、失效分析、工艺优化。
量产CP测试：晶圆级良品率筛选，拦截坏片。
可靠性验证：高低温、偏压、湿热下长期稳定性测试。
新材料/纳米器件：石墨烯、MoS₂、纳米线等微观电学表征。
四、森东宝探针台厂家
深圳市森东宝科技有限公司（Cindbest），国产头部探针台研发/生产/销售一体化厂家，国家高新技术企业、专精特新企业，2014年成立，总部深圳龙华。
1.手动探针台（主流）
CL-6/CH-8：6–8寸，大样品，性价比高
2.半自动探针台
CP200/CP300：常温，4–6寸，高校/研发首选
3.高低温真空探针台（高端）
CGO-4-N：77K（液氮）~473K，高真空10⁻⁷Torr，Hall/二维材料/硅光测试
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