May 15,2026
探针卡是什么？探针卡是什么东西
探针卡，也叫ProbeCard，是半导体晶圆CP测试里的核心配件。
一、探针卡简单理解：
没封装的整片晶圆，上面一颗颗裸芯片，没法直接插线测试。探针卡就是测试机和晶圆芯片之间的精密转接接口，用上面无数根微型探针，精准扎在芯片焊盘上，把电信号连通，提前测出坏芯片，省下封装浪费。
二、探针卡核心用途
做信号中转：测试机↔探针卡↔晶圆裸芯片，传输电信号；
提前筛选良率：封装前剔除不良晶粒，节省后端成本；
微米级精准接触：细探针稳定扎点，保证导电可靠、信号不失真。
三、探针卡基本组成
微型探针、基板线路、加固背板、定位结构，部分高频款还有屏蔽、散热设计。
四、探针卡常见类型
1.悬臂式：性价比高，适合引脚少、间距大的普通芯片；
2.垂直式：排列密、精度高，适合高端逻辑、射频芯片；
3.MEMS探针卡：超小间距、超高密度，适配先进制程芯片，精度最高价格也高。
四、探针卡和探针台的区别
探针卡：电气连接，负责导电测试；
探针台：机械定位，负责承载晶圆、精准对位、升降压合；
两者搭配，才能完成整套晶圆测试。
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