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May 26,2026

什么是GGB高频微波探针?GGB高频微波探针的作用


美国GGB高频微波探针,是由美国GGB Industries公司重磅打造的Picoprobe®系列晶圆级微波/射频探针,作为全球半导体高频测试领域的标杆级产品,凭借超高精度、稳定性能与宽泛适配性,广泛应用于射频、微波、毫米波芯片的研发验证与量产测试场景,是行业高频在片测试的核心核心配套器件。


一、什么是美国GGB高频微波探针

  • GGB探针采用精密同轴结构设计,属于高精度接触式高频测试探针,可直接对晶圆、芯片裸片进行接触探测,无需封装即可完成各类高频信号测试与故障诊断,核心应用能力如下:
  • 精准测试芯片、晶圆的S参数、噪声、功率、负载牵引等各类高频性能参数;
  • 实现芯片内部节点失效分析(FA),精准定位电路开路、短路、性能衰减等故障问题;
  • 完美兼容手动、半自动、全自动探针台(适配深圳森东宝探针台设备),全面覆盖实验室研发与工业量产测试场景。

二、GGB核心产品系列

  • GGB Industries针对不同测试场景、频段与测试需求,打造多系列专用探针产品,全方位匹配半导体高频测试需求:
  • 通用微波射频探针(40A/50A/67A系列):频率覆盖DC–67GHz,适配绝大多数常规射频晶圆测试场景,是行业通用主力型号。
  • 超低损耗探针(40M系列):频率覆盖DC–40GHz,具备极低信号损耗特性,专为噪声测试、负载牵引测试等高精密测量场景定制。
  • 高阻抗有源探针(35系列):频率覆盖DC–26GHz,主打芯片内部微小节点探测,精准适配芯片故障诊断、失效分析场景。
  • 高精度量产探针卡(MCW系列):最高支持110GHz高频测试,适用于晶圆批量、高速量产检测,大幅提升量产测试效率。
  • 特殊环境专用探针:涵盖高温、深冷、无磁等特殊规格,适配毫米波频段测试,广泛应用于量子科技、航空航天、高端汽车电子等严苛工况领域。

三、GGB高频微波探针核心作用与优势
1. 高频信号精准传输,测试精度极高
产品全系频率覆盖DC~110GHz,主流40A、50A、67A等型号可满足不同频段测试需求。采用行业标准50Ω同轴结构,可完美兼容网络分析仪等各类高端测试仪器,支持S参数、阻抗匹配、功率、噪声等全维度高频参数测试。同时具备低插损(≤1dB)、高回损(≥18dB)的优异特性,最大程度保障信号传输完整性,测试数据精准可靠。
2. 晶圆裸片在片测试,降本提效
探针可直接接触晶圆、裸片及微型封装器件的微小焊盘,适配25–2540μm间距焊盘测试。采用独立弹簧加载针尖设计,支持GSG、GS、SG等多种排布方式,可适配非平面、异形芯片结构,接触稳定且针痕极小,不会损伤芯片基材。相较于传统封装后测试方案,可提前在晶圆阶段排查不良品,大幅降低研发与量产成本,缩短产品研发周期。
3. 精准故障定位,助力失效分析
支持非侵入式精密探测,可深入芯片内部节点,精准定位电路开路、短路、漏电、高频性能劣化等各类故障问题。测试过程无损伤、无干扰,既能完成良品芯片性能检测,也能高效支撑产品失效复盘、工艺优化,是半导体研发迭代的核心工具。
4. 适配性极强,兼容全场景量产研发
可完美适配森东宝CP系列半自动探针台及各类手动、全自动探针台设备,同时支持高低温、真空等特殊测试环境。产品接触重复性可达-80dB,性能稳定、一致性高,既能满足实验室高精度研发测试,也能适配工业化大批量量产检测,适配全产业链测试需求。


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