May 26,2026
什么是双面探针台?双面探针台的应用场景
双面探针台是一种可同时从上下两侧对晶圆、PCB或光电器件进行精密探针接触与电/光性能测试的设备,核心价值是无需翻面、一次装夹完成双面测试,显著提升效率与精度。
一、核心结构与原理
双层对位架构:上、下各有一套独立精密探针驱动与视觉系统,可同步或独立调节,实现上下探针精准对位。
精密运动平台:XY轴分辨率可达0.1μm,重复定位精度±0.5μm;Z轴带压力反馈(精度±1mN),保护超薄/脆弱样品。
双视觉对位:上下高清显微镜头,实时同步观察两侧探针与焊盘/电极接触状态。
真空吸附样品台:稳固固定4–12英寸晶圆、大面积PCB/FPC及异形件。
二、关键优势
效率翻倍:一次装夹完成双面测试,省去翻面与二次对准,节省50%以上测试时间。
精度更高:避免翻面引入的定位误差,对准精度可达±0.5μm,适合微小间距(≤10μm)焊盘。
适配特殊测试:支持一面电测、一面光测(如硅光、激光器),或上下同时加载DC/RF信号。
多模式兼容:手动/半自动/全自动可选,适配研发、中试与量产。
三、典型应用场景
半导体:TSV三维芯片、IGBT、SiC/GaN功率器件、晶圆级双面电测。
光电子:硅光(SiPh)、LD/LED/PD、光耦、太阳能电池(正面测光、背面电测)。
PCB/FPC:高频高速板阻抗/损耗测试、双面线路同步检测。
MEMS:微型传感器、执行器双面电学/力学特性表征。

四、双面探针台厂家推荐(森东宝)
CH-8-D双面探针台
CINDBESTCH-8-D双面点针探针台
可用于晶圆和PCB板测试,用于需要正面和背面同时扎针
该定制探针台具有优良的机械系统,符合人体工程学,以及多项升级功能。
森东宝双面探针台应用方向
森东宝双面探针台CH-8-D双面点针探针台适用于晶圆与PCB板测试,可满足正面和背面同时扎针的光/电性能测试需求,广泛应用于集成电路、Wafer、LED、LCD、太阳能电池等行业的产品制造与科学研究领域。
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