Jun 15,2026
手动探针台，CS-4小型探针台简介
CS-4系列手动探针台是一款专为半导体、光电行业研发的高精度手动测试设备，整机造型小巧紧凑，搭载精细化精密传动结构，兼具超高测量精度、稳定性能与人性化操作体验，完美适配实验室研发、样品验证、失效分析等各类精密测试场景，是高校科研、研究所及中小芯片设计企业的高性价比测试优选设备。
CS-4系列探针台主打4英寸及以下芯片、晶圆、器件的专业化测试，采用手动操控模式，适配直流、光电及材料电学特性测试，可精准完成I-V、C-V、PIV等常规测试项目，能够满足复杂、高速器件的精密电气测量研发需求。设备整体结构精简、占用空间小，性价比突出，专注服务于科研研发、小批量样品验证、产品失效分析场景，针对性解决精密器件研发测试难题，不适用于大规模量产自动化测试场景，精准匹配细分科研测试需求。
设备适配常规工业供电，AC220V±10%/50Hz通用电力规格，无需额外改造供电环境，开箱即可搭建测试场景，部署便捷、操作门槛低，适配各类实验室常规使用条件。
二、核心技术优势
1.超高精度，精准测量
设备搭载精密传动与定位系统，定位精度表现优异，XY轴定位精度可达10μm，旋转精度高达0.1°，可实现微小器件、精细晶圆点位的精准对位，有效规避测试偏差，保障每一组测试数据的准确性与有效性，完全满足高端精密器件的研发测试精度要求。
2.兼容性强，通用性广
支持4英寸晶圆全规格测试，配备360°全域旋转功能，搭配背电极结构、6组探针座，硬件配置丰富多元。同时实现光电、射频测试双兼容，可覆盖半导体电学测试、光电器件特性测试、材料电学性能检测等多领域测试需求，一台设备满足多场景测试实验，大幅提升设备利用率，降低科研设备投入成本。
3.稳定耐用，测试可靠
机身采用优质不锈钢材质打造，坚固耐磨、抗干扰性强，适配长期实验室使用环境。核心传动部件搭载同轴丝杠结构，传动平稳、定位稳定；配备真空强吸附固定系统，可牢牢固定晶圆与器件，杜绝测试过程中位移晃动；采用低漏电专业设计，有效规避漏电干扰问题，大幅提升测试稳定性与重复性，设备运行稳定、故障率低，使用寿命更长。
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