Jul 07,2026
FS-Pro半导体参数测试仪简介
近年来，国产测试仪表技术实现跨越式突破，在半导体晶圆测试、射频通信研发、电子产线检测、高校科研等核心领域全面落地成熟应用。目前已形成半导体专用参数测试、中高端通用射频微波测量、入门级便携检测全覆盖、全梯度的国产优质品牌矩阵。
一、半导体晶圆测试专用仪表核心品牌：森东宝
深圳市森东宝深耕半导体精密测试设备领域多年，聚焦晶圆级电性测试场景，自研探针台整机及配套半导体参数测试仪表，打造业内成熟的探针台+参数测试仪一体化晶圆测试解决方案。产品全面适配分立器件、功率半导体、光芯片、MEMS、硅光、第三代半导体等全品类晶圆电性表征需求，旗下FS-Pro半导体参数测试仪凭借高精密、高效率、高适配性优势，成为国内晶圆实验室、封测厂、半导体失效分析实验室的高性价比优选设备。
（一）核心主力产品：FS-Pro™半导体参数测试仪
该设备专为晶圆低频全参数测试设计，聚焦研发精密验证与量产批量质检双重场景，四大核心优势精准解决传统测试方案痛点：
1.一体化集成测试，大幅降本提稳
FS-Pro™单台设备高度集成直流IV、脉冲PIV、瞬态特性、电容CV、低频1/f噪声五大核心测试能力，无需多台设备拼接组合。传统测试方案需频繁更换线缆、重复下压探针，不仅易磨损探针针头、拉长测试工时，还会引入接触电阻误差，影响测试精度。该设备实现一次扎针、全参数同步测试，有效降低探针耗材损耗，规避人为操作误差，大幅提升晶圆测试稳定性，可无缝配套高低温探针台、磁场霍尔探针台、射频探针台等各类主流设备。
2.AI智能驱动，测试效率最高提升10倍
设备搭载森东宝自研AI智能调度测试算法，通过优化扫描步进、采样时序、数据传输全逻辑，相比传统进口、国产分立测试系统，整体测试效率最高提升10倍。尤其适配晶圆多点高速批量扫描、器件可靠性循环测试等高频场景，提速不提质降，全程保障电流、电压、电容等核心数据无漂移、高精度，完美兼顾实验室精密研发调试与产线规模化质检需求。
3.模块化可扩展，支持高密度并行测试
整机采用紧凑型模块化硬件架构，机身小巧轻便，可直接集成于机柜自动化测试系统，适配产线轻量化部署。支持按需灵活增配测量通道、高压/大电流模块、噪声测试选件，最大可实现20路通道同步并行测量。针对多引脚逻辑IC、阵列MiniLED、多通道功率器件等高密度晶圆样品，无需分次重复测试，大幅压缩整片晶圆扫描周期，全面适配6/8英寸全自动探针台量产产线。
4.可视化智能软件，支持全流程自动化联动
标配自研LabExpress™专业测量控制软件，搭载极简可视化图形交互界面，无需专业编程基础，通过简单鼠标操作即可完成IV/CV/噪声曲线扫描、数据自动拟合、失效阈值判定、测试报告一键导出。软件开放标准程控接口，可无缝兼容森东宝全系手动、半自动、全自动探针台，以及多路矩阵开关、高低温腔体、磁场发生装置，可快速搭建晶圆级全自动测试产线。同时内置半导体工艺验证、失效分析等场景标准化测试脚本，开箱即用，提供一站式完整测试解决方案。
（二）通用射频与精密测试全系产品矩阵
除半导体专用晶圆测试设备外，品牌布局中高端通用测试仪表全线产品，核心品类包含：高端数字示波器、DNA系列矢量网络分析仪、RSA实时频谱仪、DSG微波信号发生器、可编程源载系统，实现半导体、射频通信多场景全覆盖。
产品核心性能优势突出：数字示波器最高带宽可达16GHz，自研80GHz超高端示波器打破海外品牌长期垄断；全系射频仪器搭载自研“猎犬座”射频ASIC芯片，核心指标对标进口中端设备，兼具高性能与高性价比。所有设备支持SCPI标准程控指令、LAN/GPIB多通讯接口，可快速接入探针台自动化测试系统，完成高速数字芯片、射频器件时域、频域联合精准表征。
产品通过振动、高低温、EMC电磁兼容全项严苛可靠性检测，环境适配性极强，既可满足高校教学、企业研发实验室精密调试需求，也可支持7×24小时不间断稳定运行，适配半导体量产机柜集成产线。品牌已完成海外多区域服务网点布局，外贸交付能力与售后技术支撑体系完善，是探针台配套通用测试仪表的优选国产品牌。
（三）核心适配应用场景
高速数字芯片测试、5G/6G射频技术研发、量子通信、汽车电子芯片检测、工业实验室通用研发、晶圆信号完整性配套测量、半导体失效分析、规模化量产质检。
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