Jul 13,2026
半导体测试用探针台
在芯片设计、晶圆制造、封装验证、前沿材料研发全流程中，探针台（ProbeStation/WaferProber）是唯一可实现晶圆级无损电学表征的精密测试平台。它依靠高精度探针座（ProbePositioner）驱动微米级探针，精准接触芯片焊盘，将晶圆内部器件信号引出至矢量网络分析仪、半导体源表、霍尔测试仪等设备，完成射频、直流、光电、高低温、真空多维度性能检测，是芯片性能验证、良率筛查、失效分析的核心硬件。
全球探针台市场规模持续走高，2025年市场总值约15.3亿美元，预计2032年复合增长率8.1%，规模突破26.4亿美元。早期市场长期被海外品牌垄断，进口设备交期长、维保成本高昂；以深圳市森东宝科技（Cindbest）为代表的国产厂商，攻克射频屏蔽、极低温真空、亚微米定位等核心技术，打造对标进口、高性价比全系列探针台，成为国内半导体实验室与芯片企业国产替代首选。
二、半导体探针台核心分类与适用测试场景
根据自动化程度、测试功能、环境适配能力，探针台分为四大主流品类，覆盖从高校研发到工业量产全部需求：
1.手动探针台（ManualProbeStation）
代表机型：森东宝CL-6、M001系列
核心优势：成本低、结构简洁、操作门槛低，X/Y/Z三轴手动探针座微调精度可达0.5μm；适配4/6英寸小片晶圆、分立器件、教学实验。
适用场景：高校实验室基础IV/CV测试、小型研发工作室、器件初步电学筛查。
2.半自动探针台（Semi-AutomaticProbeStation）
代表机型：森东宝CP200、CP300系列
核心优势：电动载台自动位移，支持整片晶圆MAP扫描、定点重复测试；标配标准射频接口，DC~110GHz全覆盖，可加装高低温卡盘。
适用场景：5G/6G射频芯片、硅光芯片、第三代半导体SiC/GaN中试研发，也是外贸询盘量最高的爆款机型。
3.全自动晶圆探针台（FullyAutomaticWaferProber）
代表机型：森东宝CH-8系列
核心优势：8/12英寸大尺寸晶圆适配，视觉自动探针对准、程序批量测试、多通道射频同步采集；内置全封闭电磁屏蔽舱，隔绝外界射频干扰。
适用场景：头部半导体企业产线中试、毫米波雷达、800G高速光模块批量性能验证。
4.高低温真空探针台（Cryogenic&VacuumProbeStation）
代表机型：森东宝CRX、CGPX、CGO系列（核心差异化产品线）
核心优势：宽温域覆盖4.5K极低温～675℃高温，极限真空10⁻⁷Pa，氮气密封防结霜；射频、低温、真空一体化兼容，行业稀缺复合测试能力cindbest。
适用场景：量子芯片、超导器件、二维材料、车规功率器件高低温可靠性测试、霍尔效应磁电联合表征。
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