CRX-4K是Lake Shore公司推出的一款多功能、高性能设计的无液氦闭循环低温探针台。该系统兼顾了无液氦操作的便利性和Lake Shore产品卓越的测量性能。它使用独立的闭循环制冷机，开机后可在无人协助的情况下冷却至低温。CRX-4K多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。此款探针台可提供的最低温度为4.5K，探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。双级闭循环制冷机允许样品在冷却过程中保持在较高温度，降低了样品冷凝的可能性，这是测量有机材料的关键要求。CRX-4K 可定制容纳直径达102 毫米（4 英寸）的晶圆片，并有直径 51 毫米（2 英寸）的探测区域。
Lake Shore CRX-4K| 高性能闭循环探针台测试系统
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◆特点/应用
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| ◆主要参数及描述 | |
| 温度范围 |
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| 安装2个探针臂 | 基础温度4.5K,控制范围5K~350K |
| 安装4个探针臂 | 基础温度5.5K,控制范围6K~350K |
| 安装6个探针臂 | 基础温度6.0K,控制范围6.5K~350K |
| 按照PS-HTSTAGE选件（与样品背面偏压不兼容） | 基础温度20K,控制范围20K~675K |
| 温度稳定性 |
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| 基础温度（无加热控制） | 未说明 |
| ＜10K | ±50mk |
| 10K~100K | ±10mk |
| 101K~250K | ±10mk |
| 251K~350K | ±20mk |
| 351K~675K | ±50mk |
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真空 |
以TPS-FRG分子泵组为标准 |
| 抽真空时间 | 30min(＜1x10﹣3Torr) |
| 室温 | ＜5X10﹣4Torr |
| 基础温度 | ＜1X10﹣5Torr |
| 最高温度 | ＜1X10﹣5Torr |
| 循环时间 | |
| 总循环 | 4h |
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抽真空 |
0.5h |
| 探针台冷却 | 2h |
| 探针台升温 | 1.5h |
| 样品 |
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| 最大尺寸 | 51mm(2英寸) |
| 样品背光接口 | 不可选 |
| 样品旋转 | 不可选 |
| 样品振动 | ＜1um |
| 探针配置 | |
| 最大探针数 | 6 |
| 探针臂温度计 | 用于监视探针臂的温度 |
| 冷却探针支架 | ＜20K（样品在基础温度下） |
| 探针支架 | 连接样品台热沉 |
| 探针臂支架 连接防辐射屏热沉 | |
| DC/RF探针 电绝缘＞100GΩ用于地漏点测量 | |
| 微波探针 频率范围从DC到67GHz | |
| 光纤探针 可用于电光测量 | |
| 落针范围 所有探针均可在直径为25.4毫米（一英寸）的圆内落针 | |
| PS:探针台可根据客户要求定制。 | |
| 规格及设计如有更改，恕不另行通知。 | |
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