CS -4| 4" 精密I-V测试测量探针台系统
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◆特点/应用
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| ◆台体规格 | |
| 尺寸 | 4英寸/6英寸 |
| 水平旋转 | 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 |
| X-Y移动行程 | 4英寸*4英寸 |
| X-Y移动精度 | 10微米 |
| 样品台Z轴调节 | 可升降10mm |
| 样品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 |
| 针座平台 | U型针座平台，最多可放置6个探针座 |
| 背电极测试 | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 |
| 外形尺寸 | 400mm长*400mm宽*500mm高 |
| 重量 | 约25千克 |
| ◆光学系统 | |
| 显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜 |
| 放大倍率 | 16X-200X |
| 移动行程 | 水平方向绕立柱360度旋转，Z轴50.8mm |
| 光源 | 外置LED无极调节亮度环形光源 |
| CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 |
| ◆探针座 | |
| X-Y-Z移动行程 | 12mm*12mm*12mm |
| 移动精度 | 10um/2um/0.7um/0.5um |
| 吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 |
| 线缆 | 同轴线/三轴线 |
| 漏电精度 | 10pA/100fA/10fA |
| 固定探针 | 弹簧固定/管状固定 |
| 接头类型 | BNC/三同轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
| 针尖直径 | 0.2um/1um/2um/5um/10um/20um |
| 针尖材质 | 钨钢/铍铜 |
| ◆可选附件 | |
| 加热台 | |
| 显示器 | |
| 转接头 | |
| 射频测试配件 | |
| 屏蔽箱 | |
| 光学平台 | |
| 镀金卡盘 | |
| 光电测试配件 | |
| PS:探针台可根据客户要求定制。 | |
| 规格及设计如有更改，恕不另行通知。 | |
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