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探针台-高低温真空光电测试系统
2021-05-271577

探针台-高低温真空光电测试系统

我司于20215月在吉林某所成功安装CINDBEST CGO-4探针台-高低温真空光电测试系统。该探针台变温范围77K~473K,温度稳定性优于±0.1℃。配三同轴探针臂,漏电流优于100fA。配无油分子泵组,低温下真空度优于5*10-5mbar。主要功能:利用液氦或液氮快速制冷,为光电子材料和器件提供真空和低温测试条件。与Keithley 4200半导体特性仪匹配使用,用于功能材料、拓扑绝缘体、纳米结构和器件等变温测试,也可以用于半导体器件、MEMS器件、超导器件与封装前在真空下做原位测试以及高低温的老化测试。

一、测试系统结构原理:

系统功能:用于测试半导体器件,材料,发光器件等综合性能表征系统,可测试参数包 括:暗电流、光电流、光电压(光伏器件)、响应速度、光谱响应、变光强的 R~P 响应等。

系统由光源、探针台和光电测试三部分组成,如图 1 所示。根据用户需求三大部分可以进行定制化开发,以实现不同光谱覆盖范围、不同测试环境和不同测试功能的实现。

              图 1.测试结构原理

二、配置结构

2.2 探针台可选项: 低温/常温/高温、有背栅/无背栅、光纤导入/无光纤、有磁场/无磁场、真空/非真空 等;

2.3 光电测试可选项: 输出特性、转移特性、暗电流、光电流、光电压(光伏材料)、光响应速度、变光强测试、 电容、光谱响应等;

2.4 光路连接: 真空探针台系统光斑尺寸一般为 mm 级别,可以扩大至 cm 级别;光纤导入真空探针台系 统的光斑尺寸由光纤纤径决定;非真空探针台可实现约 500nm 光斑会聚(电极由 wirebonding 引出);

2.5 电路连接+控制反馈: 分为手动控制、半自动、全自动(准)三种规格。目前全自动测试系统正在开发中。


三、系统技术参数:

根据用户需求配置不同级别的光电测试系统,分为不同型号,其系统参数如下:


四、参考用户测试数据:


1Nanoscale

                  图 2, 用户测试数据


测试手段:室温测试+真空探针台(液氮开循环)+B1500+500W 氙灯+单色仪


2Nano Letters


测试手段:

室温测试+真空探针台(液氦闭循环)+4200+超连续白光激光器+声光晶体调制器

             图 3,用户测试数据参考


3ACS Nanounder review):论文未发表



              图 5. 实验测试系统外观图


森东宝致力为客户提供先进的半导体测试解决方案,森东宝,全球知名的先进晶圆探针台制造商