探针台-高低温真空光电测试系统

我司于2021年5月在吉林某所成功安装CINDBEST CGO-4探针台-高低温真空光电测试系统。该探针台变温范围77K~473K，温度稳定性优于±0.1℃。配三同轴探针臂，漏电流优于100fA。配无油分子泵组，低温下真空度优于5*10-5mbar。主要功能：利用液氦或液氮快速制冷，为光电子材料和器件提供真空和低温测试条件。与Keithley 4200半导体特性仪匹配使用，可用于功能材料、拓扑绝缘体、纳米结构和器件等变温测试，也可以用于半导体器件、MEMS器件、超导器件与封装前在真空下做原位测试以及高低温的老化测试。

一、测试系统结构原理：

系统功能：用于测试半导体器件，材料，发光器件等综合性能表征系统，可测试参数包 括：暗电流、光电流、光电压（光伏器件）、响应速度、光谱响应、变光强的 R~P 响应等。

系统由光源、探针台和光电测试三部分组成，如图 1 所示。根据用户需求，三大部分可以进行定制化开发，以实现不同光谱覆盖范围、不同测试环境和不同测试功能的实现。

              图 1．测试结构原理

二、配置结构：

2.2 探针台可选项： 低温/常温/高温、有背栅/无背栅、光纤导入/无光纤、有磁场/无磁场、真空/非真空 等；

2.3 光电测试可选项： 输出特性、转移特性、暗电流、光电流、光电压（光伏材料）、光响应速度、变光强测试、 电容、光谱响应等；

2.4 光路连接： 真空探针台系统光斑尺寸一般为 mm 级别，可以扩大至 cm 级别；光纤导入真空探针台系 统的光斑尺寸由光纤纤径决定；非真空探针台可实现约 500nm 光斑会聚（电极由 wirebonding 引出）；

2.5 电路连接+控制反馈： 分为手动控制、半自动、全自动（准）三种规格。目前全自动测试系统正在开发中。

三、系统技术参数：

根据用户需求配置不同级别的光电测试系统，分为不同型号，其系统参数如下：

四、参考用户测试数据：

（1） Nanoscale：

                  图 2， 用户测试数据

测试手段：室温测试+真空探针台（液氮开循环）+B1500+500W 氙灯+单色仪

（2） Nano Letters：

测试手段：

室温测试+真空探针台（液氦闭循环）+4200+超连续白光激光器+声光晶体调制器

             图 3，用户测试数据参考

（3） ACS Nano（under review）：论文未发表

              图 5. 实验测试系统外观图

森东宝致力为客户提供先进的半导体测试解决方案，森东宝，全球知名的先进晶圆探针台制造商。