CS-4和CS-6探针台的技术参数比较如下：

CS-4探针台：

· Chuck尺寸：4英寸

· 水平旋转：可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置

· XY移动行程：4英寸*4英寸

· X-Y移动精度：10um

· 样品台Z轴调节：可升降8mm

· 样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环

· 针座平台：U型针座平台，最多可放置6个探针座

· 背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极

· 显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜

· 放大倍率：16X-100X

· 移动行程：水平方向绕立柱360度旋转，Z轴50.8mm

· 光源：外置LED无极调节亮度环形光源

· CCD：200万像素/500万像素/1200万像素

· XY-Z移动行程：12mm12mm12mm

· 移动精度：10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um

· 吸附方式：磁力吸附/真空吸附

· 线缆类型：同轴线/三轴线/射频线

· 漏电精度：10pA/100fA/10fA

· 固定探针方式：弹簧固定/管状固定

· 接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子/射频接口

· DC针尖直径：0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um

· RF探针频率：40GHz/50GHz/67GHz/110GHz

· 材质：钨钢/铍铜/镀镍

· 外形尺寸：400mm长400mm宽500mm高

· 重量：约25千克

· 可选附件包括加热台、屏蔽箱、显示器、防震桌、转接头、镀金卡盘、射频测试配件和光电测试配件等。

CS-6探针台：

· Chuck尺寸：6英寸

· 水平旋转：可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置

· XY移动行程：4英寸*4英寸

· X-Y移动精度：10um

· 样品台Z轴调节：可升降8mm

· 样品固定方式：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环

· 针座平台：U型针座平台，最多可放置6个探针座

· 背电极测试方式：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极

· 显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜