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Jun 08,2026

半导体探针台是做什么的


    半导体探针台(ProbeStation)是半导体产业链里的高精度电学测试平台,核心作用是在晶圆切割、封装前,把极细的金属探针精准扎到芯片电极上,连接外部测试仪器,完成对芯片的电性能、功能与可靠性测试,相当于芯片的“产前精密体检仪”。

    一、半导体探针台的核心作用
    阶段:晶圆做完电路、划片封装之前(CP测试环节)。
    动作:用微米级细探针(针尖约1μm)扎在芯片PAD(电极点)上,把信号引出来。
    目的:
    筛好坏:测每颗芯片是否合格,只封装良品,大幅降低封装成本。
    测性能:测电流/电压(IV)、电容/电压(CV)、射频、功耗、频率等参数。
    找缺陷:失效分析、定位工艺问题,反馈前端制造提升良率。
    极端环境:可做高低温、高真空测试,模拟车规/航天等严苛工况。
    二、半导体探针台的组成配件
    精密载物台(卡盘):真空吸住晶圆,X/Y/Z三轴+旋转,亚微米级精度移动定位芯片。
    探针座与探针:装极细钨针/镀金针,三维微调,精准扎PAD,导电信号。
    显微镜:高清放大,观察探针是否扎准、有无刮伤。
    温控/真空腔(可选):提供高低温、高真空环境,满足特殊测试需求。
    屏蔽/防震:减少外界干扰,适合测微弱电流、高阻等精密信号。
    三、半导体探针台厂家推荐:
    深圳市森东宝科技有限公司(Cindbest)——国产探针台标杆
    森东宝(Cindbest)是国内专注半导体探针台研发、生产、销售与服务的国家高新技术企业、专精特新企业,2014年成立于深圳,是国产替代核心品牌。
    半导体探针台推荐,CP-200半自动探针台:3–8英寸晶圆,硅光/功率器件量产测试,MAP自动测试,精度高。


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