Jul 02,2026
常规非真空高低温(-60℃~200℃)探针台,半导体探针测试设备
CT-8非真空高低温探针台,温控区间覆盖-60℃~200℃,专为8英寸及以下晶圆、裸片器件高精度表征打造,可在宽温环境下完成半导体样品电学、光电性能全维度测试,广泛适配实验室新品研发、器件高低温可靠性验证、芯片失效分析等场景。

一、非真空高低温核心应用方向
1.适配8英寸及以内各类半导体样品,在模拟极限高低温工况下开展测试:
2.通用模拟/数字IC、PMIC电源芯片高低温电性能标定
3.VCSEL、光电探测器、硅光器件温漂、光电特性测试
4.射频器件、MEMS传感器温变参数提取与稳定性验证
5.分立器件、中小功率半导体宽温可靠性筛选
6.芯片失效分析、温变缺陷复现与机理研究
二、非真空高低温产品技术特点
8英寸大样品兼容
整机承载平台适配8英寸及以内晶圆、切割裸片、封装前芯片,覆盖主流中小尺寸半导体样品测试需求,通用性强。
密闭腔体+氮气防凝露系统
封闭式腔体结构,有效隔绝外界电磁干扰,降低测试噪声;支持干燥氮气正压吹扫,低温测试全程杜绝样品表面结霜、凝露,保障探针接触稳定、测试数据准确。
高效保温节能腔体
腔体采用多层复合隔热保温结构,大幅减少冷量损耗,显著降低液氮消耗,降低长期实验耗材成本,升降温速率稳定,提升整体测试效率。
升降式载台,兼容探针卡批量测试
温控载台支持垂直升降调节,快速适配各类探针卡、多探针模组,可对接半导体参数仪、矢量网络分析仪、光电测试系统,兼顾手动研发测试与半自动批量表征需求。
三、非真空高低温适配配套设备
半导体参数分析仪、矢量网络分析仪VNA、光电综合测试系统、探针卡、手动/半自动探针座
四、适用行业
光通信、消费电子、工业半导体、射频微波、MEMS传感、高校科研院所、第三方检测实验室
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