低温真空探针台是在真空+宽温域环境下，对芯片、晶圆、二维材料、光电器件等进行高精度电学/光电特性测试的精密半导体测试设备，是先进材料研发、器件可靠性验证、失效分析的核心装备。
一、核心作用与优势
解决大气测试痛点
低温：避免水汽凝结导致漏电、接触不良。
高温：防止样品氧化、电性漂移与物理形变。
真空：提供纯净、稳定、低噪声测试环境，极限真空可达10⁻⁶torr（≈10⁻⁴Pa）。
核心价值：在4.5K（液氦）~675K（402℃）超宽温域下，精准测试IV/CV、击穿电压、霍尔效应、光电响应、高频特性等。
二、森东宝CGO系列核心组成（技术亮点）
1.真空腔体
材质：不锈钢/航空铝合金，双腔体+防辐射屏设计，温度均匀性更优。
抽气：分子泵+涡旋泵多级系统，30分钟可达10⁻⁶torr高真空。
观察窗：2/4/6英寸，光学观测扎针与样品。
2.温控系统（核心）
制冷：液氮开循环（77K）、液氦（4.5K）、闭循环制冷机（4.2K，无液氦）。
加热：电加热，最高至675K（402℃）。
控温：精度0.001K，稳定性**±0.1K，升温速率达150℃/min。
3.探针与定位
探针臂：4–6轴外置设计，XYZ+R向精密调节，定位精度2μm，针尖最小0.2μm。
热沉设计：减少探针热传导，保证样品温度均匀。
4.隔振与光学
气浮隔振桌：隔绝地面振动，保障测试重复性。
显微镜：分辨率3μm+，放大倍率最高2000倍，实时观测探针接触。
5.信号与接口
三同轴/射频接口、光纤接口、真空/冷源接口，适配源表、LCR、光谱仪等。
漏电精度：100fA，可升级至30fA，满足极低漏电测试需求。
三、典型应用场景
先进材料研发：二维材料、钙钛矿、氧化镓、超导材料的极限性能测试。
半导体器件验证：芯片/晶圆在高低温真空下的可靠性、IV/CV、击穿特性。
光电器件测试：LED/PD/LD、光伏、量子器件的光电协同测试。
失效分析：配合SEM/FIB，亚微米级定位短路、漏电等缺陷。
MEMS/传感器：高低温真空环境下的力学、电学、热学特性测试。
四、森东宝（Cindbest）厂家介绍
1.企业概况
深圳市森东宝科技有限公司（Cindbest）成立于2014年，是国家高新技术企业、专精特新企业，专注半导体测试设备研发、生产、销售，在探针台领域拥有多项专利。
2.主营产品
探针台测试系统：CGO系列高低温真空探针台、CT系列非真空高低温探针台、手动/半自动/全自动探针台。
配套设备：激光修复测试系统、Hall测试系统、射频探针、半导体参数分析仪、源表、矢量网络分析仪、磁控溅射镀膜仪。
配件：分子泵、机械泵、GM制冷机、低温传感器等。
3.市场与服务
总部位于深圳，在香港、北京、上海、长沙、西安、成都等城市设销售网点。
服务覆盖国内95%的985/211高校、研究所及半导体公司，是国内探针测试系统主要生产供应商。
经营理念：以客户为本，以实现实验目的，助力中国半导体发展为目标。

五、森东宝CGO系列核心型号参数、

型号	样品台尺寸	温度范围	真空度	探针臂	温控精度	漏电精度
CGO-2	2 英寸	77K-675K	10⁻⁶ torr	4-6 个	0.001K	100fA
CGO-4	4 英寸	77K-675K	10⁻⁶ torr	4-6 个	0.001K	100fA
CGO-6	6 英寸	77K-675K	10⁻⁶ torr	4-6 个	0.001K	100fA