在半导体产业向先进工艺迭代、产能规模化扩张的当下,晶圆级测试(CP测试)作为保障芯片良率、控制生产成本的关键环节,其自动化、高精度、高效率水平直接决定了半导体制造的核心竞争力。自动探针台作为CP测试系统的核心支撑设备,凭借无人干预的全流程测试能力,打破了手动、半自动探针台的效率瓶颈,成为连接半导体前道制造与后道封装的重要桥梁,广泛应用于逻辑芯片、存储芯片、功率半导体、射频芯片、MEMS等各类器件的量产与研发测试中。下边我们先详细看看什么是:“半自动探针台”,接下来我们看看国内的半自动探针台生产厂家
一、什么是半自动探针台
半自动探针台是介于手动与全自动之间、兼顾精度与成本的半导体晶圆/芯片电学测试设备,核心是“人工干预+电动/软件自动执行”的人机协作模式。晶圆级电学测试精密平台,通过探针与芯片/晶圆焊盘精准接触,配合测试仪器完成直流/射频/电容-电压等参数测量。手动→半自动→全自动的中间形态,平衡精度、效率、成本,是研发实验室、中试线、中小批量生产的主流选择。
三、国内优质的半自动探针台供应商推荐:森东宝探针台
深圳森东宝(Cindbest):专注于探针台及半导体测试解决方案,产品覆盖多尺寸晶圆、多测试类型,具备高性价比、本地化技术支持与快速交付能力,适合国内晶圆厂与封测企业的量产及研发需求。
四、森东宝CP200/CP300半自动探针台(产品推荐)
森东宝(Cindbest)CP200、CP300是面向8英寸/12英寸晶圆的高精度半自动探针台,主打自动对位、MAP显示、批量电参数测试,是研发/中试/中小批量生产的高性价比选择。
1.CP200半自动探针台自动探针台的特点
CP200(8英寸/200mm)
适用晶圆:8英寸(200mm)及以下
核心能力:自动对位、自动寻边、MAP显示、批量晶体管/芯片电参数/功能测试
精度:XY轴分辨率0.1μm,定位精度≤±2μm,重复定位≤1μm
运动:XY行程250×350mm,速度≥70mm/s;Z轴行程20mm,速度≥20mm/s
光学:电动连续变倍显微镜(0.58–7.5×)+CCD自动对准
减震:空气弹簧减震,画面稳定
2.CP300半自动探针台自动探针台的特点
CP300(12英寸/300mm)
适用晶圆:12英寸(300mm)及以下,兼容薄晶圆/减薄晶圆
核心能力:同CP200,更大行程、更强负载、更高稳定性,适配12英寸量产级测试
精度:XY轴定位精度±2μm,重复定位≤1μm,满足12英寸先进制程测试
扩展:支持晶圆盒/EFEM对接、高低温、射频/高压大电流测试升级
2016-05-13
GGB射频探针选型方法2024-04-07
关于磁场探针台的原理和应用领域2024-04-03
高低温探针台的分类以及相应的参数说明2024-04-01
波导探针特点概述及其在技术领域的应用2024-03-27
高端探针台的分类,和应用场景2024-03-26
什么是直流探针,以及直流探针的应用领域2024-03-25
探针台选型指南:如何为您的实验室选择最合适的探针台?2024-03-16
浅析高温测试测量探针台系统2024-03-11
探针台:解锁半导体测试领域的无限可能2024-03-04
深入了解中端探针台及其关键技术参数