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什么是二维旋转台,二维旋转台的结构原理
2026-03-27591

什么是二维旋转台?二维旋转台(二维转台)是一种可在两个相互垂直的旋转轴上实现高精度角度定位与连续旋转的精密运动平台,核心用于角度校准、姿态模拟、光学对准、晶圆/芯片测试等场景。

二维旋转台

一、基本结构与原理

核心轴系:通常为方位轴(水平旋转,360°)+俯仰轴(上下倾斜,±90°/±180°),两轴正交。

主流结构

T型:方位轴在下、俯仰轴在上,结构紧凑、负载稳定,适合探针台、光学测试。

U型:俯仰轴跨在两侧,刚性更强,适合大负载与高速运动。

驱动与控制

驱动:步进/伺服电机、力矩电机(无刷、高动态)。

传动:蜗轮蜗杆、谐波减速器、直接驱动。

反馈:编码器(角度分辨率可达0.01″~1″)。

控制:闭环伺服,支持点位、连续扫描、轨迹规划。

二、二维旋转台厂家

深圳市森东宝科技有限公司(Cindbest),成立于2014年,是一家专业从事半导体测试设备研发、生产、销售的国家高新技术企业、专精特新企业,在探针台领域拥有多项专利,为客户提供手动探针台测试系统、半自动探针台测试系统、全自动探针台测试系统等。主营产品:探针台测试系统、激光修复测试系统、hall测试系统、射频探针、半导体参数分析仪、源表、矢量网络分析仪、磁控溅射镀膜仪,以及分子泵、机械泵、GM制冷机、低温传感器等配件。

Cindbest总部位于广东省深圳市,并在香港、北京、上海、长沙、西安、成都等城市均设有销售网点,公司成立至今,已为国内各大高校(含国内95%的985,211高校)、研究所、半导体公司提供科研级探针测试系统,并成为国内探针测试系统的主要生产供应商。

三、森东宝(Cindbest)二维旋转台典型应用

探针台配套(CP200/CP300)

晶圆/芯片θ角微调,实现探针与焊盘精准对准。

配合显微镜做倾斜观测与IV/CV测试。

二维材料转移平台(CGO系列)

对二维材料(石墨烯、MoS₂)进行角度对准、堆叠、旋转贴合。

实现0.1°级精确转角,保证层间取向一致。

光学与光电测试

光学元件(透镜、棱镜、光纤)的角度校准与耦合。

激光雷达、光电传感器的姿态模拟与性能测试。

科研与失效分析

芯片、MEMS、光电器件的多角度电性能/光学表征。

失效点三维定位与截面观测。