CS系列 | 200简易探针台
基本信息
应用方向
CS-4主打4英寸及以下芯片/晶圆/器件的手动电学、光电测试，结构紧凑、性价比高，主要面向实验室研发、小批量验证、失效分析，不适合大规模量产自动化测试。
技术特点
1. 高精度
XY10μm、旋转0.1°
2. 强通用性
4英寸、360°旋转、背电极、6探针座、光电/射频兼容
3. 稳定可靠
不锈钢、同轴丝杠、真空强吸附、低漏电设计
CS-4结构特点
CS-4 小型探针台
CS 系列探针台造型小巧，测量精度高，操作方便，符合人体工程学。
主要应用于I-V/C-V PIV测试半导体行业以及光电行业的测试。
广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。
所属分类：
CS系列小型探针台
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技术参数 CS-4 CS-6 ◆ 台体规格 Chuck尺寸 4英寸 6英寸 样品台旋转 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 样品固定方式 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 样品台Z轴升降 可升降8mm X-Y移动行程 4英寸*4英寸 X-Y移动精度 10μm 针座平台 U型针座平台，最多可放置6个探针座 背电极测试 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极（可选项） 外形尺寸 400W*400D*500H 重量 约26千克 ◆ 光学系统 显微镜固定方式 立柱旋转式 显微镜类型 单筒显微镜 体视显微镜 放大倍率 0.75-5X变倍 16X-100X 光源 同轴光源 外置LED环形光源 CCD 200万像素（可升级2000万像素） ◆ 探针座 X-Y-Z移动行程 12mm*12mm*12mm / 20mm*20mm*20mm 移动精度 10μm/2μm/0.7μm/0.5μm 吸附方式 磁力吸附/真空吸附 ◆ 探针夹具 线缆 同轴线/三轴线/射频线 漏电精度 10pA/100fA/10fA 固定探针 弹簧固定/管状固定/爪式固定 接头类型 BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子/射频接口 ◆ 探针 DC针尖直径 1μm/2μm/5μm/10μm/20μm/50μm/100μm RF探针频率 40GHz/50GHz/67GHz/110GHz 材质 钨钢/铍铜/镀镍 ◆ 可选附件 通用附件 加热台、防震桌 镀金卡盘、屏蔽箱 定制化 根据客户要求定制 PS:探针台可根据客户要求定制。 规格及设计如有更改，恕不另行通知。 版权所有：深圳市森东宝科技有限公司 深圳市森东宝科技有限公司 地址:深圳市龙华区大浪街道新石社区嘉义源数码科技园2号1层A区 电话: 0755-29412885 手机：18927474172 邮箱: sales@cindbest.com
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