结构紧凑，适用于各种变温测试
温度范围 -196~200℃（300、400、500定制），配液氮制冷模块
真空腔体设计，可通保护气体
4探针，手动定位，标配1.5米同轴测试线缆（同轴公接头）
上位机软件控制
支持改动或定制多探针测试
CGO系列真空高低温探针台
M001真空高低温探针台结构紧凑、使用便捷，专为各类材料、器件、芯片的变温电学性能测试设计，适用于实验室研发、材料分析、芯片特性测试等多种真空高低温测试场景。
设备结构紧凑小巧，安装使用便捷，适用于各类材料与器件的真空高低温变温测试，满足实验室多样化测试需求。
温度范围覆盖-196℃~200℃，支持300℃/400℃/500℃高温定制，标配专业液氮制冷模块，实现精准稳定控温。
采用真空密封腔体设计，可通入保护气体，有效避免样品氧化，保障高低温环境下测试稳定、数据精准。
| ◆ 台体参数 | |
| Chuck尺寸 | 35*35MM |
| CHUCK材质 | 紫铜镀镍 |
| 观察窗 | φ≥41mm高透石英观察窗 |
| 腔体 | ≥6英寸高真空腔体 |
| 探针臂接口 | 6路 |
| 腔体极限真空度 | ≤10-3Torr，三轴高真空接口 |
| 最大可测电压 | ≥1500V |
| 最大可测电流 | ≥10A，漏电精度≤100fA |
| CHUCK类型 | 接地/背电极/三轴 |
| 温度范围 | -196℃-200℃（更高温度可选配） |
| 控温精度 | 优于±1℃ |
| ◆ 显微镜参数 | |
| 显微镜类型 | 体式显微镜/金相显微镜 |
| 固定方式 | 立柱式，可360°旋转 |
| ◆ 探针臂参数 | |
| X-Y-Z三轴移动行程 | XZ行程±6mm(精调)，Y行程50mm(粗调)±6mm(精调) |
| 移动精度 | 2μm |
| ◆ 探针夹具参数 | |
| 线缆 | 三轴线 |
| 漏电精度 | 100fA |
| ◆ 探针参数 | |
| 针尖直径 | 1um-100um可选 |
| 材质 | 钨钢/铍铜(可镀金) |
| ◆ 整机参数 | |
| 参考尺寸 | 600x500x112mm |
| 重量 | 约20千克 |
| ◆ 可选附件 | |
| 真空泵 | 机械泵/分子泵 |
| 屏蔽箱 | 一体式/分体式 |
| 光学平台 | 阻尼/气浮式 |
| PS:设备可根据客户要求定制。 | |
| 规格及设计如有更改，恕不另行通知。 | |
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