EMMI光子微漏电定位分析系统
产品概述
EMMI光子微漏电定位分析系统设备是集成电路失效分析中的重要分析工具，漏电定位对于失效分析者而言是必备工具。芯片在工作中，微漏电现象较为普遍，微弱漏电在极端情况下往往会无限放大，造成芯片甚至整个控制系统失效，所以芯片微漏电现象是对于集成电路失效分析中极端重要的一环。
应用与性能
针对宽禁带半导体（如GaN与SiC）器件失效分析，公司推出了400nm-1000nm响应波长的EMMI测试系统，能够对GaN HEMT，GaN LEDS，SiC PDs、SiC pn junction，Si基MOSFET以及IC等芯片的微安级漏电位置进行精确定位。该系统具有小于1um的空间分辨率，能够对极微弱的光进行成像。
测试案例
GaN PDs
GaN LEDs
Si MOSFETS
Si FRD
Si IGBT