温度范围4.5K-350K
无需制冷剂，样品台最低温度可到4.5K
CRX低温探针台无需制冷剂，样品台最低温度可到4.5K
CRX系列闭循环真空高低温探针台
CRX闭循环低温探针台适用于多种高精度低温实验测试，可满足IV/CV测试、微波测试、光电实验测试、超导垂直磁场测量、低温特性测试等多场景科研与检测需求，广泛应用于材料物理、超导器件、光电器件、半导体芯片等研究领域。
温度覆盖4.5K-350K超宽范围，样品台最低温度可达4.5K，满足极低温至常温全区间高精度测试与实验需求。
采用循环电制冷技术，无需液氦、液氮等制冷剂，具备高效降温能力，支持非监督降温，无需人工实时监控，使用安全便捷。
标配2英寸样品台，采用电学独立悬空结构，引出三同轴接口；样品台振动精度≤1μm，搭配6个探针臂接口，满足多探针高精度测试。
射频臂支持DC~110GHz超宽频率范围，可兼容IV/CV/微波/光电/超导磁场测量等多类型测试，满足高端科研实验需求。
| ◆ 腔体规格 | ||
| 参数项 | CRX-10K | CRX-4.5K |
| 样品台尺寸 | 2英寸 | 2英寸 |
| 样品固定 | 弹簧压片 | |
| 观察窗口 | 50mm | |
| 真空度 | 常温下极限真空＜7×10^-4（Torr） 低温下极限真空＜3×10^-5（Torr） | |
| 探针臂接口 | 最多6个探针臂接口 | |
| 其他接口 | 电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口 | |
| 制冷方式 | 制冷机 | |
| 温度范围 | 10K到350K | 4.5K到350K |
| 温控精度 | 0.1K/0.01K/0.001K | |
| 稳定性 | <10K@±50mK,10K到100K@±10mK 100K到300K@±10mK | |
| 外形 | 872mmW*962mmD*1400mmH | |
| 重量 | 约130千克 | |
| ◆ 光学系统 | ||
| 显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 | |
| 放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X | |
| 移动行程 | 水平360度旋转，Z轴行程50.8mm | |
| 光源 | 同轴光源 | |
| CCD | 200万像素/1200万像素 | |
| ◆ 探针臂 | ||
| X-Y-Z移动行程 | 25mm*70mm*15mm | |
| 结构 | 外置探针臂，真空波纹管结构 | |
| 移动精度 | 2um | |
| 线缆 | 同轴线/三轴线/射频线 | |
| 漏电精度 | 10pA/100fA/10fA | |
| 固定探针 | 螺丝固定 | |
| 接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 | |
| 频率支持 | DC-67GHZ | |
| 针尖直径 | 10um/20um/50um | |
| ◆ 其他组件 | ||
| 真空组件 | 分子泵组 | |
| 冷源组件 | 制冷机 | |
| ◆ 可选附件 | ||
| 超高温配件、显示器、转接头、射频测试配件、屏蔽箱、光学平台、镀金卡盘、光电测试配件、高压测试配件、分子泵组、激光系统、气敏测试配件 | ||
| PS:探针台可根据客户要求定制。 | ||
| 规格及设计如有更改，恕不另行通知。 | ||
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