CINDBEST CH 型号探针台是一款功能齐全、兼容性强的探针台。
可以满足不同样品的测试，特别是大尺寸样品，如 8 英寸晶圆、12 寸晶圆等。
也可满足不同应用的测试，如直流测试、射频测试等。
CH 系列高端探针台
CH高端探针台适用于各类高精度晶圆量测应用，可满足晶圆级可靠性(WLR)、失效分析(FA)、集成电路工程、微型机电系统(MEMS)及高功率(HP)等专业测试需求，支持IV曲线、CV曲线、LIV曲线、RF测试、高压大电流测试等多类型测量。
支持IV/CV/LIV/RF/高压大电流等全类型测试，覆盖晶圆级可靠性、失效分析、MEMS、高功率器件等高端科研与工业测试场景。
配备可调节针座平台，支持快速升降功能，便于样品与探针快速分离；卡盘支持旋转与锁定功能，操作便捷高效，提升实验与测试体验。
针座平台兼容直流/射频定位器，支持磁性或真空安装方式，适配各类高精度探针与测试配件，满足多样化测试方案需求。
提供全系列定制化配置，包含多种卡盘、DC/RF/1~10KV高压模块、微型定位器、显微镜、相机、PCB支架等，可自由组合适配各类测试需求。
| ◆ 技术参数对比 | ||
| 参数项 | CH-8 | CH-12 |
| ◆ 台体 | ||
| Chuck尺寸 | 8英寸 | 12英寸 |
| 样品台抽拉 | 行程：110㎜ | 行程：150㎜ |
| 样品台旋转 | 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 | 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 |
| 样品固定方式 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 |
| 样品台Z轴升降 | 可升降8mm | 可升降8mm |
| X-Y移动行程 | 8英寸*8英寸 | 12英寸*12英寸 |
| X-Y气浮移动 | 可360°气浮移动，便于快速定位样品 | 可360°气浮移动，便于快速定位样品 |
| X-Y移动精度 | 1μm | 1μm |
| 针座平台 | 可快速升降5mm以及微调升降25mm | 可快速升降5mm以及微调升降25mm |
| 背电极测试 | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极（可选项） | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极（可选项） |
| ◆ 显微镜 | ||
| 显微镜固定方式 | 龙门架带X-Y微调，移动范围2"×2" | 龙门架带X-Y微调，移动范围2"×2" |
| 显微镜便捷性 | 含快速倾仰装置，便于更换物镜，带锁死功能气动升降模块（可选） | 便于更换物镜，带锁死功能气动升降模块（可选） |
| 显微镜类型 | 单筒显微镜 / 体式显微镜 / 金相显微镜 | 单筒显微镜 / 体式显微镜 / 金相显微镜 |
| 放大倍率 | 0.75-5X变倍 / 16X-100X / 20X-4000X | 0.75-5X变倍 / 16X-100X / 20X-4000X |
| 光源 | 同轴光源 / 外置LED环形光源 | 同轴光源 / 外置LED环形光源 |
| 电荷耦合器件 | 200万像素（可升级2000万像素） | 200万像素（可升级2000万像素） |
| 其他功能 | 可加载激光器 | 可加载激光器 |
| ◆ 探针座 | ||
| X-Y-Z移动行程 | 12㎜*12㎜*12㎜ | 20㎜*20㎜*20㎜ |
| 移动精度 | 10μm / 2μm/ 0.7μm / 0.5μm | 10μm / 2μm / 0.7μm / 0.5μm |
| 吸附方式 | 磁力吸附 / 真空吸附 | 磁力吸附 / 真空吸附 |
| DC调节点测角度 | 0-30° | 0-30° |
| RF调节角度 | 多点探头调水平旋钮，可以+-10°调节，精度0.1度 | 多点探头调水平旋钮，可以+-10°调节，精度0.1度 |
| 线缆 | 同轴线 / 三轴线 / 射频线 | 同轴线 / 三轴线 / 射频线 |
| 漏电精度 | 10pA / 100fA/ 10fA | 10pA / 100fA / 10fA |
| 探针夹具 | 弹簧固定 / 管状固定 / 爪式固定 | 弹簧固定 / 管状固定 / 爪式固定 |
| 接头类型 | BNC / 三轴 / 香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子 / 射频接口 | BNC / 三轴 / 香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子 / 射频接口 |
| ◆ 探针 | ||
| DC针尖直径 | 1μm / 2μm / 5μm / 10μm / 2μm / 50μm / 100μm | 1μm / 2μm / 5μm / 10μm / 20μm / 50μm / 100μm |
| RF探针频率 | 40GHz / 50GHz / 67GHz / 110GHz / 1100GHz | 40GHz / 50GHz / 67GHz / 110GHz / 1100GHz |
| 材质 | 钨钢 / 铍铜 / 镀镍 | 钨钢 / 铍铜 / 镀镍 |
| ◆ 外形尺寸 | ||
| 外形尺寸 | 750W*820D*650H | 925W*947D*815H |
| 重量 | 约103千克 | 约170千克 |
| ◆ 可选附件 | ||
| 可选配件 | 加热台、镀金卡盘、防震桌、屏蔽箱、根据客户要求定制 | |
| PS:探针台可根据客户要求定制。 | ||
| 规格及设计如有更改，恕不另行通知。 | ||
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