温度范围：8K-300K
极限真空优于5x10-6(Torr)
支持6个探针臂，支持直流，漏电精度优于100fA
支持射频测试，频率范围DC~110GHz
支持光学测试，波长范围：190nm~2200nm
霍尔测量和磁输运测量
磁体类型：超导磁体
CRX系列闭循环真空高低温探针台
CRX-SM低温超导真空探针台功能齐全、结构稳定、操作便捷、兼容性强，可满足不同样品在多温区环境下的测试需求，广泛适用于直流测试、光电测试、射频测试、超导垂直磁场测量及低温材料实验等专业科研与检测场景。
搭载8K-300K超宽温区控温系统，全温区内可提供±3T垂直超导磁场，完美适配低温超导、材料物理等高精度测量需求。
采用循环电制冷方式，无需液氦/液氮等制冷剂，支持非监督安全降温，使用成本更低、操作更安全、运行更稳定。
支持一键制冷、一键回温、自动控温、自动控场，搭配6个探针臂接口，兼容多类型测试方案，同时具备自动测试功能，大幅提升实验效率。
兼容2英寸及以下样品，支持直流、光电、射频、超导磁场测量等多种测试类型，结构稳定、扩展性强，满足科研与工业多场景使用需求。
| ◆ 腔体规格 | |
| 型号 | CRX-SM |
| 样品台尺寸 | 2英寸 |
| 样品固定 | 弹簧压片 |
| 观察窗口 | 50mm |
| 真空度 | 常温下极限真空＜7×10^-4(Torr) 低温下极限真空＜×10^-5（Torr） |
| 探针臂接口 | 最多6个探针臂接口 |
| 其他接口 | 电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口 |
| 制冷方式 | GM制冷机 |
| 温度范围 | 8K到300K |
| 温控精度 | 0.1K/0.01K/0.001K |
| 稳定性 | <10K@±50mK,10K到100K@±10mK 100K到300K@±10mK |
| 外形 | 872㎜宽*962㎜深*1400㎜高 |
| 重量 | 约130kg |
| ◆ 磁场 | |
| 磁场类型 | 超导磁体 |
| 磁场方向 | 垂直 |
| 磁场控制 | 电流控制 |
| 磁场大小 | ±3T（8K~300K全温区范围内） |
| 磁场均匀性 | 0.5%直径10㎜;1%直径25㎜ |
| ◆ 光学系统 | |
| 显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
| 放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
| 移动行程 | 水平360度旋转，Z轴行程50.8mm |
| 光源 | 同轴光源 |
| 电荷耦合器件 | 200万像素/1200万像素 |
| ◆ 探针臂 | |
| X-Y-Z移动行程 | 25㎜*70㎜*15㎜ |
| 结构 | 外置探针臂，真空波纹管结构 |
| 移动精度 | 2μm |
| 线缆 | 同轴线/三轴线/射频线 |
| 漏电精度 |
10pA/100fA/10fA |
| 固定探针 | 螺丝固定 |
| 接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
| 频率支持 | DC-67GHz |
| 针尖直径 | 10微米/20微米/50微米 |
| ◆其他组件 | |
| 真空组件 | 分子泵组 |
| 冷源组件 | 制冷机 |
| ◆可选附件 | |
| 超高温配件、显示器、转接头、射频测试配件、屏蔽箱、光学平台、镀金卡盘、光电测试配件、高压测试配件、分子泵组、激光系统、气敏测试配件 | |
| PS:探针台可根据客户要求定制。 | |
| 规格及设计如有更改，恕不另行通知。 | |
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