150 mm晶圆解决方案。
用于在宽温度范围内实现功率半导体的低接触电阻测量。
CINDBEST 高功率器件表征系统专为晶圆上高功率器件测试而设计。
CL 系列中端探针台
CL-6中端探针台适用于光电性能测试与射频测试，可实现LED/LD/PD器件的光强、波长测量；支持加装东西方向针座，通用性强，是高校实验室及科研机构的理想通用测试设备。
支持LED/LD/PD光强、波长等光电测试，可开展射频测试应用；支持加装东/西方向针座，满足高校实验室多样化通用测试需求。
配备可调节针座平台，支持快速升降，便于样品与探针快速分离；卡盘支持旋转与锁定功能，操作便捷高效，大幅提升测试体验。
针座平台兼容直流/射频定位器，支持磁性或真空安装方式，可灵活搭配各类测试配件，满足不同实验方案要求。
提供多种定制化配置，包含各类卡盘、微型定位器、显微镜、相机、PCB支架；可选配仪器架、隔振台、暗箱等配件，全面满足实验室使用需求。
| ◆ 台体规格 | ||
| 尺寸 | 6英寸 | |
| 水平旋转 | 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 | |
| X-Y移动行程 | 6英寸*6英寸 | |
| X-Y移动精度 | 5μm | |
| 样品台Z轴调节 | 可升降8mm | |
| 样品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 | |
| 针座平台 | U型针座平台，最多可放置6个探针座 | |
| 背电极测试 | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 | |
| 外形尺寸 | 750mm*815mm*650mm | |
| 重量 | 约80千克 | |
| ◆ 光学系统 | ||
| 显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 | |
| 放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X | |
| 移动行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴行程50.8毫米 | |
| 光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 | |
| 电荷耦合器件 | 200万像素/500万像素/1200万像素 | |
| ◆ 探针座 | ||
| X-Y-Z移动行程 | 12㎜*12㎜*12㎜ | |
| 移动精度 | 10μm/2μm/0.7μm/0.5μm | |
| 吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 | |
| 线缆 | 同轴线/三轴线/射频线 | |
| 漏电精度 | 10皮pA/100fA/10fA | |
| 固定探针 | 弹簧固定/管状固定/爪式固定 | |
| 接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子/射频接口 | |
| 针尖直径 | 0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm | |
| 针尖材质 | 钨钢/铍铜/镀镍 | |
| ◆ 可选附件 | ||
| 加热台、显示器、转接头、射频测试配件、屏蔽箱、光学平台、镀金卡盘、光电测试配件、高压测试配件、显微镜快速倾仰装置、激光系统、探针卡夹具 | ||
| PS:探针台可根据客户要求定制。 | ||
| 规格及设计如有更改，恕不另行通知。 | ||
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