FS-Pro™ 半导体参数测试系统
产品优势
√ 一体化测试
FS-Pro™集成直流测试，脉冲测试，瞬态测试，电容测试和低频噪声(1/f 噪声) 测试于单台仪器中，无需换线和重新探针即可完成全部低频参数化表征。
√ 超快速
FS-Pro™引入人工智能驱动测试技术，相比传统半导体参数测试系统其测试速度最高可达10倍，在强大速度提升的同时仍保持测试精度。
√ 模块化架构
FS-Pro™采用模块化架构，在保持紧凑机身的同时又可依照需求扩展，并且支持多通道并行测试，最高可达20路通道，轻松应对高密度生产测试。
√ 操作便捷
内置测量控制软件LabExpress™拥有直观的用户图形界面，仅需点击几下鼠标就可以完成强大的测试分析功能，同时可以支持多种探针台和矩阵开关等设备，轻松完成晶圆级数据的自动测试任务，更针对半导体制造提供了完善的解决方案。
√ 独具特色的1/f噪声测试能力
特别对先进制程器件，二维材料器件，光电探测器的测试应用，1/f噪声作为器件的本征重要参数之一，1/f噪声性能制约着器件的实际应用能力，1/f噪声广泛地存在于各种组分和结构的半导体器件中，同时又敏感的反映材料和器件的许多潜在缺陷，因此1/f噪声的测量和分析成为评估半导体器件质量表征和可靠性的一种新手段。