CT-8高低温探针台专为8英寸及以内样品高精度测试设计，适用于高低温环境下的晶圆、器件电学与光电性能测试，可满足实验室研发、可靠性测试、失效分析等多场景使用需求。
设备最大可支持8英寸以内样品测试，适配各类晶圆与器件，满足大尺寸样品高低温测试需求。
采用密闭腔结构，有效屏蔽外部电磁干扰；支持氮气正压环境，确保低温状态下样品无结霜、无凝露。
腔体采用优化保温设计，大幅降低液氮消耗量，减少使用成本，提升低温测试效率。
平台支持升降调节，可轻松加装探针卡，适配自动化与多探针批量测试场景。
| ◆ 台体规格 | |||
| 参数项 | CT-6 | CT-8 | CT-12 |
| 样品台尺寸 | 6英寸 | 8英寸 | 12英寸 |
| 水平旋转 | 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 | ||
| X-Y移动行程 | 6英寸*6英寸 | 8英寸*8英寸 | 12英寸*12英寸 |
| X-Y移动精度 | 10um/1um | ||
| 样品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 | ||
| 针座平台 | 最多可放置8个探针座 | ||
| 平台升降 | 可快速升降10mm/可微调升降10mm | ||
| 背电极测试 | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 | ||
| 温度范围 | -60℃ ~ 200℃(液氮环境下)，-40℃ ~ 200℃（气冷机环境下） | ||
| 温控精度 | 温度分辨率：0.01℃/0.1℃/1℃ | ||
| 重量 | 约150千克 | 约180千克 | 约180千克 |
| ◆ 光学系统 | |||
| 显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 | ||
| 放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X | ||
| 移动行程 | 水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸，Z轴行程50.8mm | ||
| 光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 | ||
| CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 | ||
| ◆ 定位器 | |||
| X-Y-Z移动行程 | 12mm*12mm*12mm/20mm*20mm*20mm | ||
| 移动精度 | 10um/2um/0.7um/0.5um | ||
| 吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 | ||
| 线缆 | 同轴线/三轴线/射频线 | ||
| 漏电精度 | 10pA/100fA/10fA | ||
| 固定探针 | 弹簧固定/管状固定 | ||
| 接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 | ||
| 针尖直径 | 1um/2um/5um/10um/20um/50um/100um | ||
| 针尖材质 | 钨钢/铍铜/镀镍 | ||
| ◆ 可选附件 | |||
| 加热台、显示器、转接头、射频测试配件、屏蔽箱、光学平台、镀金卡盘、光电测试配件、高压测试配件、显微镜快速倾仰装置、激光系统、探针卡夹具 | |||
| PS:探针台可根据客户要求定制。 | |||
| 规格及设计如有更改，恕不另行通知。 | |||
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