May 11,2026
什么是晶圆探针台?
很多人不懂也不了解什么是晶圆探针台,接下来森东宝小编带大家伙一起看看:“什么是晶圆探针台?”的介绍。

一、什么是晶圆探针台?
晶圆探针台(WaferProber/ProbeStation)是半导体测试的核心设备,用于在芯片切割封装前,对整片晶圆(Wafer)上的每个芯片(Die)进行非破坏性电性能测试(CP测试)。
二、晶圆探针台核心作用
筛除坏片:在封装前测出不合格芯片,避免封装浪费,提升良率、降低成本。性能验证:测试芯片的开短路、漏电、阈值、频率、功耗等参数。工艺监控:反馈制造工艺稳定性,快速定位问题。
三、晶圆探针台工作原理
固定晶圆:真空载物台(Chuck)吸附固定整片晶圆。精准对准:光学显微+精密运动平台,将微米级探针(或探针卡)精准接触芯片焊盘(Pad)。信号连接:探针连接外部测试仪器(如半导体参数分析仪、ATE),施加信号并采集参数。自动测试:按程序逐芯片测试,标记良/不良,生成晶圆图(WaferMap)。
四、晶圆探针台核心结构
精密载物台:X/Y/Z三轴,纳米级定位(±0.1μm),真空吸附,可加温控(-80℃~200℃)。光学系统:高倍显微镜(50×~1000×)+CCD,亚微米级对准与观察。
探针/探针卡:钨/铍铜探针,针尖**≤2μm**;探针卡可含数千根针,适配量产。
五、晶圆探针台厂家
深圳市森东宝科技有限公司(Cindbest)——国产中高端晶圆探针台核心厂家
森东宝(Cindbest)是2014年成立于深圳龙华的专精特新高新技术企业,国产探针台主力品牌,专注晶圆探针台研发、生产、销售与定制化服务,核心技术自主可控,性价比与服务能力突出。
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