May 12,2026
探针台多少钱一台
探针台价格跨度很大,按类型与精度划分,国产手动基础款约5-20万元,半自动20-50万元,全自动高端机型80-300万元以上;进口同级别通常贵1.5-3倍。

一、国产探针台价格(2026年参考)
1.基础手动款(高校/科研用):
2. 简易手动探针台:3-10万元
3.标准手动(含显微镜/探针座):10-20万元
4.高低温真空型:7-15万元
半自动探针台(量产/研发):
高精度电动(如森东宝CP200):20-35万元
射频/微波测试款:30-50万元
全自动晶圆探针台(6/8/12英寸):
国产中高端:80-150万元
先进制程(5nm及以下):200-300万元
二、进口探针台价格(2026年参考)
手动款(如Cascade):30-50万元
半自动款:50-100万元
全自动高端(东京电子/东京精密):150-500万元+,先进制程机型可达800万元
三、价格影响因素
精度:定位精度±0.1μm级比±1μm级贵30%-50%。
自动化:全自动上下片/自动定位比手动贵2-5倍。
功能:高低温(-190℃~400℃)、真空、射频屏蔽等功能每项加价5-20万元。
品牌:进口(Cascade/东京精密)比国产(森东宝)贵1.5-3倍。
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四、典型配置参考
高校科研(手动+显微镜+探针座):12-18万元
半导体研发(半自动+高精度+温控):25-40万元
量产测试(全自动8英寸+探针卡):100-200万元
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